1.需要更换盘面, 充气平台包含一个本体，装载FOUP的盘面，充气和排气管路
2.充气平台不影响FOUP在主机台的平台上正常Load和Unload动作
3.设备需要配有检测上机FOUP是否可以充气的检测装置
4.设备可选配MFC，根据需求变化充气流量
5.软件能实现Continuous / Recipe / Clean / Idle Purge
6.实时监控（FDC）
7.防止氧化，降低Foup内相对湿度,延长Q-Time
8.监测FOUP 内湿度, 可以有Flow Chart /RH Chart/ Alarm Function
9.透过RFID 读取资料
10.可选配O2- Meter，侦测大气环境含氧量
11.已改造超过30种各类型的LoadPort
12.符合半导体SEMI规范和标准及CE 认证
