1.可直接吊挂于OHB,亦可附带OHB直接吊挂于轨道
2.不充气亦可作为储位使用
3.配有检测上机FOUP是否可以充气的检测装置
4.可选配MFC，根据需求变化充气流量
5.软件能实现Continuous / Recipe / Clean / Idle Purge
6.实时监控（FDC）
7.防止氧化，降低Foup内相对湿度,延长Q-Time
8.可以随每个Step和Recipe 变更流量, 避免第一时间N2 大量流入而 Particle扬起.
9.有N2 Flow Chart/ Alarm Function
10.FOUP N2 出口端装RH Sensor及Vacuum
11.监测FOUP 内温湿度, 可以有RH Chart/ Alarm Function
12.透过RFID 读取资料
13.支持E84 Sensor+MES ( 需PC)
14. 符合半导体SEMI规范和标准及CE 认证
