1.作为暂存FOUP的充气设备。
2.配有检测上机FOUP是否可以充气的检测装置
3.可选配MFC，根据需求变化充气流量
4.软件能实现Continuous / Recipe / Clean / Idle Purge
5.实时监控（FDC）
6.防止氧化，降低Foup内相对湿度,延长Q-Time
7. 可以随每个Step和Recipe 变更流量, 避免第一时间N2 大量流入而 Particle扬起.
8. 有N2 Flow Chart/ Alarm Function
9. FOUP N2 出口端装RH Sensor及Vacuum
10. 监测FOUP 内温湿度, 可以有RH Chart/ Alarm Function
11. 透过RFID 读取资料
12.可选配O2- Meter，侦测大气环境含氧量
13. 符合半导体SEMI规范和标准及CE 认证
